润滑与密封

作者：张懋达,付永强,王谦之,周飞

单位：南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室,,,,,,,

关键词：磁控溅射;CrMoSiCN薄膜;薄膜结构;摩擦学特性

基金：国家自然科学基金项目（51775271）.

从三元含Mo的CrMoN、MoSiN、MoCN薄膜到四元CrMoSiN、MoSiCN薄膜，综述多元系列薄膜的结构、力学及摩擦学性能的研究进展；分析在不同气体压力、制备方法与参数、不同元素含量下薄膜结构的变化，阐述薄膜结构与其力学性能和摩擦学特性的关联。指出：多元CrMoSiCN系列薄膜结构、硬度、摩擦因数强烈受到薄膜中Mo、Si、C、N元素含量的影响，其中力学特性还与薄膜微结构紧密相关；薄膜的摩擦学特性与晶粒生长细化和作为润滑剂的无定形基质有关；在摩擦过程中发生的摩擦化学反应也有效地提高了薄膜的耐磨性。对于四元CrMoCN和多元CrMoSiCN薄膜，建议进一步研究在水润滑与非润滑的不同条件下，例如在海水或者空气干摩擦环境下，是否由于薄膜结构组分的不同而有效地形成含Mo的氧化物的自润滑膜，以提高薄膜在更多场合下的适应性和减摩性。

来源：2019年第4期

《润滑与密封》期刊编辑部

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