润滑与密封

作者：杨保平，岳照凡，王永富，白永庆，张俊彦

单位：兰州理工大学石油化工学院,,兰州理工大学石油化工学院；中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,,中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,,中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,,中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,

关键词：类富勒烯碳薄膜;化学气相沉积;摩擦配伍对

基金：国家自然科学基金项目（中瑞：51611530704）

通过等离子体增强化学气相沉积技术，以不同沉积时间在硅表面上制备类富勒烯碳薄膜，探究类富勒烯碳薄膜结构演变和摩擦学性能随沉积时间变化规律。利用拉曼光谱和透射电子显微镜，考察类富勒烯碳薄膜微结构和表面形貌随沉积时间的变化。结果表明：碳薄膜内类富勒烯结构含量随沉积时间先增加后保持不变；采用沉积时间为3 h的类富勒烯碳薄膜组成摩擦配伍对，当载荷从8 N增加到14 N时，摩擦因数从0.013降至0.006，即随载荷的增加实现了由低摩擦向超滑的转变。这是因为摩擦诱使类富勒烯碳薄膜发生结构转变，并形成有利于减少摩擦的类球状或外部石墨壳层闭合的纳米颗粒。

来源：2020年第1期

《润滑与密封》期刊编辑部

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