润滑与密封

作者：赵岚，曹明，林继兴

单位：浙江工贸职业技术学院材料工程系,,吉林大学材料科学与工程学院,,浙江工贸职业技术学院材料工程系,

关键词：磁控溅射;CuS-MoS2涂层;真空退火;润滑性能

为提高MoS2润滑涂层承载力和抗湿性能，使用磁控溅射技术制备CuS掺杂MoS2复合涂层，并对制备涂层进行220、320和420 ℃真空退火处理，以发挥CuS与MoS2协同润滑作用。采用场发射扫描电子显微镜、激光拉曼光谱分析涂层结构，通过洛氏硬度压痕试验、摩擦磨损试验和纳米压痕试验对涂层性能进行分析。实验结果表明：随CuS靶溅射功率提高，涂层中出现颗粒长大和CuS结晶化趋势，且CuS掺杂抑制了MoS2形核长大，涂层膜-基结合力有所下降；真空退火处理后CuS-MoS2复合涂层表面发生分解，厚度明显降低，MoS2(002)相形核长大，摩擦学性能得到提升；320 ℃退火处理后涂层在常温和RH70%大气环境下获得最低平均摩擦因数0.08，纳米硬度达到5.64 GPa，并具有较好的耐磨损性能。研究认为由于CuS受热分解导致复合涂层结构和成分变化，生成了有利于发挥CuS与MoS2协同润滑效应的微晶相，使得涂层润滑性能得到明显提升

来源：2020年第4期

《润滑与密封》期刊编辑部

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