润滑与密封

作者：路家斌，宾水明，阎秋生，黄银黎，熊强

单位：广东工业大学机电工程学院,,广东工业大学机电工程学院,,广东工业大学机电工程学院,,广东工业大学机电工程学院,,广东工业大学机电工程学院,

关键词：多磨头;磁流变抛光;磁场分布;材料去除;磁感应强度;塑性去除

基金：NSFC-广东省联合基金项目（U1801259）；国家自然科学基金项目(51375097).

为研究磁场分布对材料去除的影响，设计轴向充磁异向排布、轴向充磁同向排布、径向充磁异向排布、径向充磁同向排布4种磁铁充磁和排布方式，利用有限元软件Maxwell仿真不同磁场的磁力线分布及抛光轮表面的磁感应强度分布，并采用数字特斯拉计测量实际磁感应强度。对单晶硅基片进行定点抛光试验，检测抛光斑沿抛光轮轴向的去除轮廓及峰值点的表面形貌。仿真和实际磁感应强度检测结果表明，不同磁场分布方式对抛光区的磁场分布有很大影响，磁铁轴向充磁同向排布与径向充磁异向排布时，具有较高的磁场强度和较好的多磨头效果。定点抛光试验表明，采用轴向充磁同向排布与径向充磁异向排布这两种方式时，能实现多点加工，其中轴向充磁同向排布时加工效率较高；但采用径向充磁同向排布时，由于抛光区磁感应强度较低，磁流变微磨头无法对工件进行有效地抛光。峰值点表面形貌检测结果表明，采用不同磁场分布方式时，对工件表面均是以塑性去除方式去除。研究表明，通过优化磁铁充磁和排布方式，可实现多磨头磁流变抛光的加工原理。

来源：2020年第4期

《润滑与密封》期刊编辑部

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