润滑与密封

作者：卢帅，王砚军，孟德章，高鹏远

单位：济南大学机械工程学院,,济南大学机械工程学院,,济南大学机械工程学院,,济南大学机械工程学院,

关键词：直流磁控溅射;CrN涂层;氮气流量比;微观形貌;摩擦磨损

基金：国家自然科学基金项目 (51275208); 山东省重点 研发计划项目 (2016GGX10202).

采用直流磁控溅射技术在不同氮气流量比下在YG6基体上制备CrN涂层, 通过X射线衍射仪 (XRD)、 扫 描电子显微镜 (SEM) 及能谱仪 (EDS) 分析涂层相组成、 涂层形貌与涂层元素成分, 利用数字式显微硬度仪、 划痕 仪测定涂层硬度与涂层结合力, 在摩擦磨损试验机考察涂层摩擦学性能。 结果表明: 氮气流量比 (氮气流量占气体总 流量的比例) 为20%、 30%时, CrN/YG6涂层结构相对疏松, 呈柱状生长; 氮气流量比为40%、 50%时, CrN/YG6涂 层结构较致密, 呈三角颗粒状生长; 随氮气流量比增大, 涂层硬度先增大后减小, 当氮气流量比为40%时达到最大值 HV1 752.5; CrN涂层的摩擦因数随氮气流量比的增大变化不大, 但磨损率先增大后减小再增大, 当氮气流量比为 40%时达到最小值2.03×10-8mm3/ (N·mm)。 研究表明, 当氮气流量比为40%时, 所制备的CrN涂层具有良好的综 合性能。

来源：2020年第6期

《润滑与密封》期刊编辑部

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