润滑与密封

作者：蔡海潮，王景华，叶 军，韩 江，薛玉君，王东峰

单位：合肥工业大学机械工程学院；洛阳轴承研究所有限公司；河南科技大学机电工程学院,,洛阳轴承研究所有限公司,,河南科技大学机电工程学院,,合肥工业大学机械工程学院,,洛阳轴承研究所有限公司,,河南科技大学机电工程学院,

关键词：非平衡磁控溅射;Ti/WS2复合薄膜;摩擦因数;流量

基金：河南省科技攻关项目（202102210073）

采用非平衡磁控溅射技术制备Ti/WS2复合薄膜。利用扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）、纳米压痕仪和摩擦磨损试验机分别对复合薄膜的微观形貌、成分、硬度以及摩擦磨损性能进行测试，研究氩气流量对Ti/WS2复合薄膜微观形貌和摩擦学性能的影响。结果表明：随着氩气流量增加，Ti/WS2复合薄膜的疏松结构明显改善，薄膜致密度得到了提高，且Ti/WS2复合薄膜的（002）晶面择优取向增强；随着氩气流量的增加，Ti/WS2复合薄膜的摩擦因数呈现逐渐降低趋势，磨损率逐渐减小，且磨损机制由明显的磨粒磨损特征转变为轻微的磨粒磨损特征，呈现出较好的耐磨性。

来源：2020年第8期

《润滑与密封》期刊编辑部

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