润滑与密封

作者：谷守旭，李迎春，邱 明，庞晓旭，范恒华

单位：河南科技大学机电工程学院,,河南科技大学机电工程学院，河南科技大学机械装备先进制造河南省协同创新中心,,河南科技大学机电工程学院，河南科技大学机械装备先进制造河南省协同创新中心，河南科技大学机械装备先进制造河南省协同创新中心,,河南科技大学机电工程学院,,河南科技大学机电工程学院,

关键词：GLC薄膜;微观结构;摩擦学性能;靶电流

基金：国家重点研发计划项目（2018YFB2000203）；河南省高端外国专家引进计划（HNGD2020003）.

为改善掺杂Ti的GLC/Ti薄膜的摩擦学性能，采用非平衡磁控溅射技术在不同C靶电流下制备了类石墨碳基薄膜。利用扫描电子显微镜（SEM）、拉曼光谱仪（Raman）对薄膜结构进行表征；采用纳米压痕仪测量薄膜的硬度及弹性模量；利用HSR2M型高速往复试验机测试薄膜在干摩擦条件下的摩擦磨损性能，并用白光干涉仪观察磨痕表面形貌。结果表明：随着C靶电流的增大，薄膜的柱状生长趋势日趋明显，其致密性降低，sp2键含量减小，石墨化程度和结合力降低，而硬度和弹性模量略增；随着C靶电流的增大，摩擦因数和磨损率均增大。因此，适当降低C靶电流可以提高磁控溅射GLC/Ti薄膜干摩擦条件下的减摩耐磨性能。

来源：2021年第9期

《润滑与密封》期刊编辑部

查看润滑与密封杂志2021年第9期