润滑与密封

作者：苑晓策，李庆忠，杨思远

单位：江南大学机械工程学院,,江南大学机械工程学院,,江南大学机械工程学院,

关键词：化学机械抛光;精细雾化;石英玻璃;抛光液;正交试验

基金：国家自然科学基金项目（51175228）.

为了配制适用于JGS1光学石英玻璃超声波精细雾化抛光的特种抛光液，以材料去除率和表面粗糙度为评价指标，设计正交试验探究抛光液中各组分含量对雾化抛光效果的影响，并对材料去除机制进行简要分析。结果表明：各因素对材料去除率的影响程度由大到小分别为SiO2、pH值、络合剂、助溶剂和表面活性剂,对表面粗糙度影响程度的顺序为SiO2、表面活性剂、pH值、助溶剂和络合剂；当磨料SiO2质量分数为19%，络合剂柠檬酸质量分数为1.4%，助溶剂碳酸胍质量分数为0.2%，表面活性剂聚乙烯吡咯烷酮质量分数为0.9%，pH值为11时，雾化抛光效果最好，材料去除率为169.5 nm/min，表面粗糙度为0.73 nm;去除过程中石英玻璃在碱性环境下与抛光液发生化学反应，生成低于本体硬度的软质层，易于通过磨粒机械作用去除。使用该抛光液进行传统化学机械抛光和雾化化学机械抛光，比较两者的抛光效果。结果表明：两者抛光效果接近，但超声雾化方式抛光液用量少，仅为传统抛光方式的1/7。

来源：2021年第11期

《润滑与密封》期刊编辑部

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