润滑与密封

作者：柯庆航，詹华，王玉飞，袁祖浩，汪瑞军

单位：中国农业机械化科学研究院,,中国农业机械化科学研究院,北京金轮坤天特种机械有限公司,,洛阳轴承研究所有限公司,,中国电子科技集团公司第四十八研究所,,中国农业机械化科学研究院,北京金轮坤天特种机械有限公司,

关键词：CrN薄膜;去离子水环境;摩擦磨损;靶电流;偏压

基金：国家国防科技工业局项目（JPPT-135-GH-2-101）.

采用多弧离子镀方法，在不同偏压和靶电流下在GH05合金试样表面制备系列CrN薄膜，利用扫描电子电镜、X射线衍射仪、显微硬度计、多功能材料表面试验仪对薄膜的微观组织结构和力学性能进行测试分析。利用盐雾磨损试验机的球-盘摩擦方式研究各CrN薄膜在去离子水环境下与Si3N4球对磨的摩擦学性能。结果表明：随着偏压增大，CrN薄膜表面微颗粒大小逐渐减小，硬度增大，结合力先增大后减小，随着靶电流增大，CrN薄膜表面凹坑逐渐减小，硬度减小，结合力先增大后减小；随着偏压增大，CrN薄膜的平均摩擦因数先增大后减小，磨损体积先减小后增大，随着靶电流增大，CrN薄膜的平均摩擦因数先减小后增大，磨损体积先减小后增大，当偏压为-80 V，靶电流为100 A时制备的CrN薄膜在去离子水环境下具有最佳的摩擦学性能；CrN薄膜在去离子水环境下的磨痕形貌主要呈现磨粒磨损的沟槽形貌，同时表现出抛光效果。

来源：2021年第12期

《润滑与密封》期刊编辑部

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