润滑与密封

作者：刘怡飞，宋启萌，李助军，田灿鑫

单位：广州铁路职业技术学院机电工程学院,,广州铁路职业技术学院机电工程学院,,广州铁路职业技术学院机电工程学院,,岭南师范学院物理科学与技术学院,

关键词：电弧离子镀;TiN/TiSiN多层涂层;TiN涂层;硬度;摩擦学性能

基金：2021年“攀登计划”广东大学生科技创新培育重点项目（pdjh2021a0871）；第一批广州市高等职业教育双师工作室、2020年度普通高校重点科研项目（2020ZDZX2089）

为提高单一TiN涂层的性能，采用AS600DMTXBE型阳极层离子源辅助电弧离子镀系统制备TiN层和TiSiN层厚度比分别为1∶2、2∶2、3∶1的TiN/TiSiN多层涂层。研究不同厚度比的TiN/TiSiN多层涂层的形貌、结构以及性能，并与TiN涂层性能进行比较。结果表明：TiN/TiSiN多层涂层为TiN面心立方结构，其中厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的TiN（111）衍射峰较强；厚度比为1∶2的TiN/TiSiN多层涂层摩擦因数最低，表明掺入Si的含量越大，涂层减摩性能越好；TiN/TiSiN多层涂层的减摩作用、硬度和结合强度都优于TiN涂层，且厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的硬度和结合强度均最大；厚度比为2∶2的TiN/TiSiN多层涂层的耐腐蚀性最高，表明Si元素的掺入能够提升涂层的耐腐蚀性能。

来源：2022年第6期

《润滑与密封》期刊编辑部

查看润滑与密封杂志2022年第6期