润滑与密封

作者：王也，张保国，吴鹏飞，谢孟晨，李烨，李浩然

单位：河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,,河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,,河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,,河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,,河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,,河北工业大学电子信息工程学院;河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,

关键词：CeO2;石英玻璃;表面活性剂;化学机械抛光;去除速率

基金：河北省高层次人才资助项目百人计划项目(E2013100006)

以纳米二氧化铈（CeO2）为磨料，使用球磨与不同化学试剂（如pH值调节剂乙酸、丙酸、植酸和分散剂离子型表面活性剂、非离子型表面活性剂）的协同分散方法制备纳米CeO2抛光液，研究酸性体系下不同抛光液的分散性能与抛光性能。研究表明，球磨时以乙酸为pH值调节剂，调节溶液pH值为3，料球比为1∶4，球磨时间为6 h，球磨后纳米CeO2悬浮液分散效果较好。采用制备的纳米CeO2抛光液对石英玻璃进行抛光实验。结果表明：在磨料质量分数为1%、pH为4的条件下，石英玻璃的材料去除速率最高为409 nm/min，粗糙度仅为0.03 nm；阳离子、非离子型表面活性剂均有助于提升酸性体系下CeO2悬浮液的分散稳定性，而加入非离子表面活性剂AEO-9（脂肪醇聚氧乙烯醚）效果最佳，其能够在提高分散稳定性的基础上改善石英玻璃的表面质量。

来源：2023年第5期

《润滑与密封》期刊编辑部

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