润滑与密封

作者：杨欣，杨宁

单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,,中国工程物理研究院机械制造工艺研究所,

关键词：DMT接触模型;金刚石;纳米摩擦;聚焦离子束刻蚀

基金：四川省科技计划项目（2021YFG0354）；装备技术基础项目（J0138-2223-ZFB）

基于DMT接触模型，在理论上计算金刚石表面纳米摩擦的摩擦力和摩擦因数；采用原子力显微镜，以金刚石探针和片状金刚石试件作为摩擦副，在大气环境下分别研究机械抛光和聚焦离子束（FIB）刻蚀的金刚石试件的摩擦学特性，并比较实验结果和DMT接触模型计算结果。结果表明：金刚石试件的摩擦因数均随着载荷的增加而减小，这与以往对金刚石微观摩擦的研究结果相符合；DMT接触模型计算结果与机械抛光表面试验结果吻合较好，而略高于FIB刻蚀表面试验结果，验证了DMT模型在金刚石纳米摩擦研究中的适用性。通过表面粗糙度和碳原子化学状态分析，得出粗糙表面对探针滑动的阻碍作用和FIB刻蚀过程中生产的非晶碳的减摩作用是DMT模型应用于上述2种加工表面产生差异的原因。

来源：2023年第8期

《润滑与密封》期刊编辑部

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